硝酸铈铵作为脱膜剂,具有强氧化性,能破坏膜层化学结构并削弱膜层与基底的结合力,从而实现脱膜功能。以下是其在不同领域的应用及相关配方示例:


金属表面处理:在金属加工中,可用于去除金属表面的氧化膜或镀层。例如,在铝、镁合金表面处理时,利用硝酸铈铵的氧化性温和蚀刻金属表面,改善表面粗糙度,增强后续电镀、涂装等涂层的附着力。
PCB 制作:在 PCB 制作中,硝酸铈铵蚀刻液可选择性去除未被光刻胶保护的铜层,形成电路图案。其优势在于蚀刻速率可控、边缘平整,适用于高精度线路的加工。
半导体器件制造:在半导体器件的金属化工艺中,硝酸铈铵可用于蚀刻钛或氮化钛等阻挡层,精度高且对硅基底的损伤小。
配方示例:在去除以含铬材料为粘着层的银反射薄膜的退膜工艺中,可将浓度为 70% 的硝酸和硝酸铈铵分别按照 90ml/L、165g/L 的比例溶入去离子水制成脱膜试剂。