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商品详情
化学式：ZnO：Al2O3 简称AZO靶材
1.靶材技术指标：
纯 度：3-4 N
主要成分：ZnO：Al2O3= 98:2 [可根据用户要求调整Al2O3掺杂比 (0-4) wt%]
相对密度：d≥ 98%
理论密度：ρ= 5.6 g•cm-3
实际密度：ρ≥ 5.5 g•cm-3
致密性均一：从横断面看无白点或大颗粒
2.镀膜性能：
方块电阻：膜厚900 nm左右时，方阻≤ 10Ω/□
电 阻 率：ρ≤ 9×10-4 Ω•cm
可见光透过率：T≥ 80%
靶材尺寸：圆形：直径25mm-300mm 厚度2-15mm
矩形：小于280*200*15mm，超出范围可以拼接
