德国ADL加速器电源GG03输出电压0-1000VDC用于离子束加工
德国ADL加速器电源GG03输出电压0-1000VDC用于离子束加工
产品价格:¥45600(人民币)
  • 规格:GG03
  • 发货地:北京
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  • 最小起订量:1台
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    商品详情
      德国ADL加速器电源GG03输出电压0-1000VDC用于离子束加工
      德国 ADL GG03 是一款专为工业应用设计的高精度直流电源,隶属于 Analoge und Digitale Leistungselektronik GmbH(ADL)公司的加速器电源系列,主要用于离子源、等离子体工艺及薄膜涂层设备。以下是其核心功能特点:
      1. 精准的输出控制与宽范围适配
      高电压输出能力:
      输出电压范围覆盖0-1000V DC,最大输出电流为30mA,功率可达30W。支持连续可调,满足离子束加工、溅射镀膜等对电压稳定性要求极高的场景。
      输入兼容性:
      输入电压为230V AC(50/60Hz),适配全球主流电网标准,无需额外降压设备即可直接接入工业环境。
      输出精度:
      电流 / 电压控制精度达标称值的**±1%**,确保工艺参数的一致性,尤其适用于半导体制造等对精度敏感的领域。
      2. 智能化控制与灵活接口
      多协议通信能力:
      标配AS4、Profibus、EtherCat、RS232/485等多种工业通信接口,可无缝集成至自动化产线或远程监控系统。支持通过外部控制信号(如 0-10V 模拟量或数字信号)远程调节输出参数。
      操作模式:
      提供手动面板操作和外部接口控制双模式。用户可通过前面板的 3? 位数字显示屏实时监控电流、电压及功率,并通过旋钮快速设定参数;也可通过外部接口实现全自动流程控制。
      自动化功能:
      内置全自动电弧处理算法,可检测并抑制异常放电,确保溅射或离子束工艺的稳定性,减少人工干预。
      3. 高可靠性与防护设计
      坚固耐用的结构:
      采用金属外壳和模块化设计,通过机械强度测试,可承受工业环境中的振动和冲击。设备重量约11kg,尺寸为 218×132.5×560mm,紧凑的体积便于集成到空间有限的设备中。
      高效散热与噪音控制:
      内置风扇强制风冷,最大环境温度支持40℃,噪音水平低于70 分贝 (A),满足车间环境的噪音限制。
      多重保护机制:

      具备过流、过压、过热保护功能,当检测到异常时自动切断输出并触发报警。例如,当温度超过阈值时,系统会通过降低功率或停机散热来避免元件损坏。

      4. 行业适配性与应用场景
      核心应用领域:
      微电子与半导体:用于离子注入、刻蚀设备的离子源供电,确保晶圆加工的精度和一致性。
      光学镀膜:为溅射设备提供稳定电源,支持玻璃、塑料等基材的高精度涂层工艺。
      传感器制造:适配 ECR(电子回旋共振)离子源,用于纳米材料沉积和微机电系统(MEMS)加工。
      工艺兼容性:
      支持直流溅射、脉冲溅射等多种镀膜技术,可根据客户需求定制输出波形(如单极脉冲),满足不同材料的沉积要求。
      5. 长寿命与维护便捷性
      高稳定性设计:
      电源内部元件经过严格筛选,平均无故障时间(MTBF)长,适合 24 小时连续运行。即使使用超过 20 年,仍可通过更换模块化组件实现低成本维修。
      可维护性:
      提供远程诊断功能,通过通信接口可实时获取设备状态信息,减少停机时间。此外,设备支持快速更换易损部件(如风扇、接口模块),维护流程简便。
      总结

      ADL GG03 凭借其高精度输出、灵活的通信能力及可靠的防护设计,成为工业离子源和镀膜设备的理想电源解决方案。其模块化架构和行业适配性,尤其适合需要高稳定性和长寿命的半导体、光学及传感器制造场景。尽管具体型号(如 GG03 与 GG03.1)的参数差异需参考官方文档,但该系列电源的技术优势已通过全球范围内的实际应用得到验证

      德国ADL加速器电源GG03输出电压0-1000VDC用于离子束加工

    0571-87774297